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ZIP 250 非接触式光学测量仪 当前位置:网站首页 > 仪器设备 > 测试设备
 



品  名:非接触式光学测量仪
型  号:ZIP 250
制造商:OGP
主要功能:测量微纳米器件尺寸、角度及位置等信息,从而可以实现对微纳米器件结构参数的测试分析。
技术指标:
(1)仪器测量精度:XY方向: mE2=(1.8+6L/1000) , Z方向m: E1=(2.5+5L/1000) 
(2)测量范围: 250mm x150mm x200mm (XYZ)
(3)机器净重: 120kg
(4)被测工件最大重量: 25kg
(5)光栅尺的分辨率: m0.1
(6)像素分辨率: m0.5 

管理员:钟正根

 

预约联系:0512-62872820,zgzhong2008@sinano.ac.cn







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